Wafer

Wafer- Handling Systeme
Adaption von Wafer- Handling Systemen an Mikroskopen

Schichtdickenmessung

Schichtdickenmessung - Film Thickness Measuring
Spektralreflektometrie voll- und halbautomatisch in Kombination mit Mikroskopen liefert zuverlässige Dünnfilm Messdaten

Inspektion & Metrologie

Promis Inspektions- u. Metrology System

Promicron Ihr Partner für Mikro- Inspektion und Metrologie

Promicron GmbH steht für Innovation, Produktivität und Qualität. Auf diesen Prinzipien bauen wir für unsere Kunden in der Halbleiter Industrie optische Mess- und Inspektionssysteme, die Maßstäbe hinsichtlich Leistung und Wirtschaftlichkeit setzen. Auf Basis automatischer Mikroskope verbinden wir innovative optische Technologien mit leistungsfähiger Bildverarbeitung, automatischem Wafer Handling und auf Wunsch mit SECS-GEM Kopplung an die MES Produktionsmanagement Systeme unserer Kunden.
Unsere Software wird im eigenen Hause programmiert und durch ein motiviertes Team ständig weiter entwickelt. 

Wafer Inspektion & Messtechnik

Kompetenz in der Mechatronik, Optik und exzellentes Know-how in der Software-Entwicklung.

Mit unseren Engineering- und Fertigungsmöglichkeiten realisieren wir für Sie anspruchsvolle Systeme für hochauflösende Messung und Inspektion.

Wir bieten Lösungen für die Halbleiterindustrie, Solarzellenfertigung, Chipinspektion und Vermessung kleinster Strukturen. Technologien wie Weißlicht-Konfokal- oder Infrarotmikroskopie, Weißlichtinterferenz, sowie Wafer-Vorder- und Rückseiteninspektion: alles gesteuert von einer modular aufgebauten MCS-Software für rechnergesteuerte Mikroskope.

Sämtliche unserer Engineered- Solutions werden von unserem Entwicklungsteam 100% auf Ihre Vorgaben und Ihre Anwendung hin angepasst, von der Hardware bis zur Software.

Softwaregesteuerte Mikroskope

Um den hohen Anforderungen bei halb- und vollautomatischen Inspektions- und Messaufgaben gerecht zu werden, bieten wir eine modulare, standardisierte Softwarelösung:

MCS Software Suite für Dokumentation und interaktives Messen. Sie umfasst anwendungsbezogene Module für Forschung & Entwicklung, sowie für verschiedenste Branchen wie: Halbleiter, Automotive, Energie und Medizintechnik. MCS verbindet automatisierte Mikroskope mit leistungsfähigen Mess- und Kontrastverfahren. Die Modularität schont Ihr Budget und ermöglicht kundenspezifische Anpassungen. Eine Integration bzw. ein Upgrade von vorhandenen Hardware-Komponenten ist ebenfalls möglich.

Die Software ist in verschiedenen Ausbaustufen erhältlich: MCS Basic bietet Dokumentations- und Messfunktionen pur, MCS Standard: zusätzlich interaktive Mikroskop/PC Kommunikation zur automatischen Kalibrierungsanpassung. MCS Advanced: zusätzlich automatische Kontrolle von weiterer Hardware wie motorisierten Scanningtischen, Waferrobotern, ID-Readern und vielem mehr.

Applikation Halbleiterindustrie

Modernste mikroskopische Verfahren von Weisslicht Interferometrie, i-line UV, DUV (248nm) Hellfeld, Dunkelfeld, Interferenzkontrast und Konfokale Mikroskopie, Focus Variation, chromatische Höhenmessung und spektrale Analysen stehen mit entsprechenden Softwaremodulen für
Metrologie Applikationen wie Schichtdickenmessung, CD & Overlaymessung und (gerne auch gleichzeitig) mikroskopisch optische Inspektion und Review zur Verfügung.

Für viele Aufgabenstellungen in den Bereichen strukturierte Wafer, Bare-Wafer, Masken, Solarzellen oder großflächige Substrate wie OLED bieten wir spezialisierte Tools.
MEMS Qualitätskontrolle durch AOI und messende Infrarotmikroskopie (near infrared microscopy) bzw. optisch-visuelle Kontrolle nach AQL (acceptance quality level) stehen in unserem besonderen Fokus.
Dabei kommen viele leistungsfähige Technologien zur Anwendung:  
LED Beleuchtung mit getriggerter Bildaufnahme, Image Stitching, Focus Stacks und Focus-Fusion, Image Alignment, Subpixeling, Image Mosaiking usw.