Promicron Applikationslabor

In unserem Applikations-Labor (Reinraum) steht eine Vielzahl von Geräten für Kundenapplikationen, Systementwicklungen und Vorführungen zur Verfügung.

Unter anderem sind derzeit folgende Geräte vorhanden:

  • Leica DM8000 umgerüstet für IR Inspektion
  • Promicron PROMIS-A VIS und IR Inspektionsanlage mit 6" und 8"-Waferhandling
  • Promicron PROMIS-C Inspektionsanlage mit 4" und 6" Waferhandling
  • INM200 für Strukturbreiten- und Schichtdickenmessung
  • Leica INS 3000 / 3300

Unsere Mikroskopstation Promis-A mit Dual-Arm Roboter und Hochleistungsmikroskop kann für vielfältigste Untersuchungen genutzt werden. Auch transparente Materialien können von Handling und Aligner bearbeitet werden.

Eine Demogerät unserer kompakten Mikroskopstation Promis-C steht für Vorführungen und Applikationsarbeiten zur Verfügung.

Features:

  • Handling von 3" - 6" Wafern
  • Prealigner
  • 2 Loadports
  • getrennte Grundplatte für Mikroskop und Roboter
  • SPS für Sensorik
  • Kabinett mit Einschub für Robotcontroller und PC
  • INM 200 Mikroskop refurbished
  • Hell- und Dunkelfeld
  • motorischer Interferenzkontrast
  • optional Durchlicht
  • 1,25x bis 150x Vergrößerung je nach Objektiv
  • motorischer Kreuztisch

 

Eine Auswahl von fachmännisch gewarteten (refurbished) Leica INS 3000 / 3300 Geräten steht ebenfalls für Vorführungen und Untersuchungen bereit. Wir stehen auch als Ansprechpartner für Service und Ersatzteile sowie die Modernisierung vorhandener Geräte zur Verfügung.