Promicron Applikationslabor

In unserem Applikations-Labor (Reinraum) steht eine Vielzahl von Geräten für Kundenapplikationen, Systementwicklungen und Vorführungen zur Verfügung.

Unter anderem sind derzeit folgende Geräte vorhanden:

  • Leica DM8000 umgerüstet für IR Inspektion
  • Promicron PROMIS-A VIS und IR Inspektionsanlage mit 6" und 8" Waferhandling
  • Promicron PROMIS-C Inspektionsanlage mit 4" und 6" Waferhandling
  • INM200 für Strukturbreiten- und Schichtdickenmessung
  • Leica INS 3000 / 3300

Unsere Mikroskopstation Promis-A mit Dual-Arm Roboter und Hochleistungsmikroskop kann für vielfältigste Untersuchungen genutzt werden. Auch transparente Materialien können von Handling und Aligner bearbeitet werden.

Ein Demogerät unserer kompakten Mikroskopstation Promis-C steht für Vorführungen und Applikationsarbeiten zur Verfügung.

Features:

  • Handling von 3" - 6" Wafern
  • Prealigner
  • 2 Loadports
  • Getrennte Grundplatte für Mikroskop und Roboter
  • SPS für Sensorik
  • Kabinett mit Einschub für Robotcontroller und PC
  • INM 200 Mikroskop refurbished
  • Hell- und Dunkelfeld
  • Motorischer Interferenzkontrast
  • Optional Durchlicht
  • 1,25x bis 150x Vergrößerung je nach Objektiv
  • Motorisierter Kreuztisch

 

Eine Auswahl an fachmännisch gewarteten (überholten) Leica INS 3000 / 3300 Geräten steht ebenfalls für Vorführungen und Untersuchungen bereit. Wir stehen auch als Ansprechpartner für Service und Ersatzteile sowie für die Modernisierung vorhandener Geräte zur Verfügung.