Mikroskope
Mess- und Inspektionsmikroskope mit unterschiedlicher Ausstattung für Halbleiter / MEMS Applikationen. Sie zeichnen sich insbesondere durch höchste optische Leistungsfähigkeit und eine schnelle und einfache Bedienung aus.
Inspektion & Metrologie
PROMIS - Promicron Inspektions- & Metrologie-Systeme
- Vollautomatisch
- Flexibel nutzbar
- Für Inspektion und Metrologie
Weißlichtinterferenz
PRO-WLI - Mikroskopausrüstung auf Basis von INM200/Ergoplan oder DM8000 mit Interferometer-Hardware & Software zur Vermessung der Topografie sowie zum Export der 3D Daten.
Konfokalmikroskopie
PRO-CON - Mikroskop-Konfokalmodul als Upgrade für hochauflösende 3D Metrologie.
Software MCS
Modulare Softwaresuite MCS:
- Inspektion
- Review
- Messtechnik (CD, Konfokal,...)
- Hardwaresteuerung
Schichtdickenmessung
Optische Schichtdickenmessung (Thin Film Measuring) mittels NanoCalc.
