Mikroskope

Mess- und Inspektionsmikroskope in verschiedener Ausstattung für Halbleiter / MEMS Applikationen. Höchste optische Leistungsfähigkeit, schnelle einfache Bedienung.

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Software MCS

Modulare Softwaresuite MCS:

  • Inspektion
  • Review
  • Metrology (CD, Konfokal,...)
  • Hardwaresteuerung

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Inspection&Metrology

PROMIS
Promicron Inspektions & Metrologie Systeme

  • vollautomatisch
  • flexibel nutzbar 
  • für Inspektion und Metrologie

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Weisslichtinterferenz

PRO-WLI
Mikroskopausrüstung auf Basis INM200/Ergoplan oder DM8000 mit Interferometer-Hardware & Software zur Vermessung der Topographie sowie zum Export der 3D Daten.

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Konfokal Mikroskopie

PRO-CON
Mikroskop-Konfokalmodul als Upgrade für hochauflösende 3D Metrology.


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Leica DM8000

Inspektionsmikroskop Leica DM8000 MCS. Modifiziertes Mikroskop für VIS und IR Inspektion im Auflicht und Durchlicht. Software zur halbautomatischen Wafer & MEMS Inspektion.

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Thin Film Measuring

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Infrared Systems

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