PRO-CON

Produkteigenschaften

  • MCS Confocal, software 3D Metrology in nanometer range with light microscope

    Fast measuring of topography for structures as small as a few nanometers Spinning Disk (Nipkov).

  • Konfokaltechnik zur sehr schnellen Topographiebestimmung bis in den Nanometerbereich.

  • White light Confocal Module for INM Microscope Series

    microscope Add-on for 3D Metrology in Nanometer scale (MCS Software required)

    Mikroskop- Konfokalmodul als Upgrade für hochauflösende 3D Metrology, Messung und Darstellung der Oberflächen Topografie, Höhen Auflösung um 1nm

    Das MCS Confocal Modul erweitert im Zusammenwirken mit der Hardware, dem whitelight confocal Modul, das Mikroskop um ein sehr schnelles und hochpräzises 3D Metrology Verfahren. 

Grundlagen

Wafer 9A

 

 

Weisslichtkonfokalmikroskopie ist ein sehr universell einstzbares und robustes Verfahren zur Gewinnung lateral und insbesondere longtitudinal hochauflösender 3D Geometrie Daten. Die konfokale Abbildung reduziert den Tiefenschärfebereich besonders bei hochvergrössernden Objektiven (20x) 50x, 100x extrem und ergibt im Verbund mit der Auswertesoftware ein enorm leistungsfähiges 3D Oberflächen Topografiemessgerät. Eine Vielzahl von spiralförmig angeordneten konfokalen Blenden gewährleisten, dass nur Licht zur Bildentstehung beiträgt, das exakt aus der Fokusebene kommt. Licht aus anderen (unscharfen) Ebenen wird fast vollständig an den Blenden geblockt. Die schnelle Rotation der Nipkov Disk sorgt dafür, dass die Blenden in ihrer Gesamtheit jeden Punkt des Bildfeldes überstreichen. Das Ergebnis ist ein sehr schneller Scan der xy Bildebene und somit eine konfokale Echtzeitabbildung eines Bildscheibchens. Durch einen überlagerten vertikalen Scan der Probe mit äquidistanten Schritten  wird binnen Sekunden ein konfokaler Bildstapel d.h. ein Z-Stack bestehend aus nanometerdünnen Bildschnitten von der Kamera eingezogen. Der vollständige 3D Datensatz ist damit erzeugt und steht im Bildspeicher des Rechners für die Geometrieauswertung per Software MCS-Confocal zur Verfügung.

Der große Vorteil des Konfokalmoduls spinning disk whitelight confocal SDC gegenüber anderen Verfahren, wie z.B. dem Laser Scanning Verfahren, wo jedes Bild durch sequenzielles Abrastern der Probe mit dem Laserstrahl erzeugt wird, ist die enorme Geschwindigkeit. Diese muss jedoch durch die Notwendigkeit einer besonders starken Beleuchtung z.B. Xenon oder HBO Gasentladungslampe erkauft werden. Auf hoch reflektierenden Proben wie z.B. Siliziumwafern kann ggfs. auch unsere Hochleistungs LED Beleuchtung verwendet werden.

 

Anwendungsbereich

Im Unterschied zur Interferometrie, wo die Auflösung in vertikaler Richtung unabhängig von der Vergrößerung ist, nimmt die konfokale Diskriminierung stark mit der numerischen Apertur (NA) des verwendeten Objektivs zu.

Konfokale optische Messtechnik eignet sich für hohe Vergrößerungen d.h. zur Abbildung und Vermessung kleinster Strukturen. Objektive ab 20x , besser 50x, und 100x oder ideal 150x/0,95 werden verwendet . 

Das Confocal Modul SDC ist für die Mikroskope der INM Serie erhältlich und bildet zusammen mit der MCS-Confocal Software eine Erweiterung des Mikroskops zu einem leistungsfähigen Tool für 3D surface metrology. 

 

Anfrage

Was ist die Summe aus 9 und 1?