Schichtdickenmessung (Thin Film Measurement)
Mikroskop zur Schichtdickenmessung
Leistungsfähiges System für Schichtdicken zwischen 50 nm und ca. 50 µm.
Halbleiterfertigung:
- Fotolack
- Oxide
- Nitride
Flüssigkristall-Displays:
- Zellabstände
- Polyimide
- ITO
Optische Beschichtungen:
- Härtebeschichtungen
- Antireflexionsbeschichtungen
- Filter
Promicron DM12000-TF
Universelles Halbleiter-Mikroskop mit der Option zur Schichtdickenmessung.