Mikroskope

INM200

Das softwaresteuerbare Hochleistungsmikroskop

  • Schneller und hochpräziser Laser Autofokus
  • motorischer sechsfach Objektiverevolver
  • motorisch gesteuerte Blenden
  • Auflicht Hellfeld Dunkelfeld Interferenzkontrast Polarisation
  • VIS und Infrarot Durchlicht Hellfeld, Polarisation
  • motorischer Z-Hub 30mm, Schritt- Auflösung von 18 nm
    OPTIONEN:
  • Multikamera Port für S/W, Color, IR Kamera
  • Weisslicht Interferenz
  • Konfokal Modul
  • Präz. Scanningtische
  • fasergekoppelte Spektrometer

INM200 mit Multi - Substrathalter

DM8000 IS

Leica DM8000 Konfiguration mit Promicron MCS Software zur halbautomatischen Wafer & MEMS Inspektion

Optionen:

  • Infrarot Auflicht und Durchlicht
    für Spektralbereich VIS und NIR einsetzbar
  • Vorderseiten zu Rückseiten alignment (top - bottom alignment) auf Si-Wafer  "through" Silicon Inspektion
  • MCS Software Suite für Inspektion, Review und ein breites Spektrum an Messaufgaben: Linienbreiten, Overlay, Schichtdicken, Kantenhöhen und Oberflächenprofilen.
  • Scanning Tische für ultra schnelles SCANNING ON THE FLY
  • Weißlichtinterferometrie

IRUVIS Multispektral Mikroskop

Mikroskop Multispektral. Mess- und Inspektionsmikroskop multispektrale Konfiguration. Das INM200 überzeugt mit höchster optischer Leistungsfähigkeit, schneller, einfacher Bedienung und Ergonomie für ermüdungsfreies Arbeiten über Stunden.

Leica HC Optik. Höchste optische Leistungsfähigkeit bei der Sichtbarmachung kleinster Strukturen.

  • Objektivvergrößerungen sind von 1.6 x 250 x möglich 
  • Konzentration auf das Wesentliche - die Inspektionsaufgabe - und Zugriff auf viele Kontrastverfahren (HF,DF,ICR,FL und Konfokalkontrast) 
  • Optimierte automatische Einstellung der Aperturblende 
  • Optimale Vermeidung von Kontamination (Reinraumklasse 1) 
  • Vorbildliche Ergonomie und höchster Komfort in der Bedienung

 

Kundenspezifische Mikroskopsysteme

Systeme nach Kundenwunsch:

Mit unseren Engineering- und eigenen Fertigungsmöglichkeiten realisieren wir für Sie anspruchsvolle Systeme für hochauflösende Messung und Inspektion. Als Basismikroskop dient z.B. das INM200 mit seinen Top-Möglichkeiten in Punkto Automatisierung und Hochauflösung.

  • 6" und 8" Scanningtische für den präzisen und automatischen Programmablauf
  • Meßtaster für hochgenaue, berührungslose z-Messung
  • White Light CONFOCAL MODULE für dünne optische Schnitte
  • Weißlichtinterferometrie (WLI)
  • Software für Inspektion & Messung
  • Software für applikationsspezifische Aufgaben

Anfrage

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